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Resumen

ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.

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Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2013-10
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 46
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 7
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS actualizaciones

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Objetivos de Desarrollo Sostenible

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9
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