Reference number
ISO 23131:2021
International Standard
ISO 23131:2021
Ellipsometry — Principles
Edition 1
2021-04
Preview
ISO 23131:2021
74663
No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2021)

ISO 23131:2021

ISO 23131:2021
74663
Idioma
Formato
CHF 96
Convertir Franco suizo (CHF) a tu moneda

Resumen

This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.

It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.

Informaciones generales

  •  : Publicado
     : 2021-04
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  •  : 1
     : 15
  • ISO/TC 107
    17.020 
  • RSS actualizaciones

¿Tiene alguna duda?

Consulte nuestras Ayuda y asistencia