Reference number
ISO 13424:2013
ISO 13424:2013
© ISO 2024
International Standard
ISO 13424:2013
Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of results of thin-film analysis
Edition 1
2013-10
2013-10
ISO 13424:2013
53773
Publiée
(Edition 1, 2013)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2021.
Cette édition reste donc d’actualité.
ISO 13424:2013
ISO 13424:2013
53773
CHF
173
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Résumé
ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2013-10Stade: Norme internationale confirmée [90.93]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 201/SC 7ICS :71.040.40
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