ISO 14606:2015
Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur par bombardement — Optimisation à l'aide de systèmes mono- ou multicouches comme matériaux de référence
Numéro de référence
ISO 14606:2015
Edition 2
2015-12
© ISO 2024
Annulée
Annulée (Edition 2, 2015)

Résumé

ISO 14606:2015 gives guidance on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

ISO 14606:2015 is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Informations générales

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2015-12
    Stade
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 4
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

Cycle de vie

Objectifs de développement durable

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7
Énergie propre et d'un coût abordable
9
Industrie, innovation et infrastructure

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