Reference number
ISO 13083:2015
© ISO 2024
International Standard
ISO 13083:2015
Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Edition 1
2015-08
Preview
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2015)
Последний раз этот публикация был пересмотрен в  2022. Поэтому данная версия остается актуальной.

ISO 13083:2015

Язык
Формат
CHF 96
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2015-08
    Этап
    : Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 201/SC 9
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. ТК
  5. ISO/TC 201/SC 9
  6. ISO 13083:2015